| Zugriffsnummer | 26180 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Nanometrology at PTB |
| Autor(in); Institution |
Bosse, Harald; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
Beckhoff, Burkhard; 7.1, Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Bodermann, Bernd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Brand, Uwe; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Bug, Marion U.; 6.6, Grundlagen der Dosimetrie, PTB-Braunschweig
Buhr, Egbert; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Dai, Gaoliang; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Danzebrink, Hans-Ulrich; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Dziomba, Thorsten; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Ebert, Volker; 3.2, Gasanalytik und Zustandsverhalten, PTB-Braunschweig
Ehret, Gerd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Felgner, André; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Flügge, Jens; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Frase, Carl Georg; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Gao, Sai; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Groß, Hermann; 8.4, Mathematische Modellierung und Datenanalyse, PTB-Berlin
Güttler, Bernd; 3.1, Metrologie in der Chemie, PTB-Braunschweig
Hilgers, Gerhard; 6.6, Grundlagen der Dosimetrie, PTB-Braunschweig
Hönicke, Philipp; 7.1, Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Jordan-Gerkens, Anke; 3.2, Gasanalytik und Zustandsverhalten, PTB-Braunschweig
Kato, Akiko; 7.2, Radiometrie mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Klein, Tobias; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Koenders, Ludger; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Kolbe, Michael; 7.2, Radiometrie mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Krüger-Sehm, Rolf; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Krumrey, Michael; 7.1, Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Kuetgens, Ulrich; 4.3, Quantenoptik und Längeneinheit, PTB-Braunschweig
Meeß, Rudolf; 5.5, Wissenschaftlicher Gerätebau, PTB-Braunschweig
Müller, Matthias; 7.1, Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Nesterov, Vladimir; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Nettelbeck, Heidi; 6.6, Grundlagen der Dosimetrie, PTB-Braunschweig
Nowak, Andreas; 3.2, Gasanalytik und Zustandsverhalten, PTB-Braunschweig
Pollakowski, Beatrix; 7.1, Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Rabus, Hans; 6.6, Grundlagen der Dosimetrie, PTB-Braunschweig
Reinhardt, Falk; 7.1, Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Scholze, Frank; 7.2, Radiometrie mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Schulz, Michael; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Schumacher, Hans Werner; 2.5, Halbleiterphysik und Magnetismus, PTB-Braunschweig
Schurig, Thomas; 7.5, Kryo- und Vakuumphysik, PTB-Berlin
Sievers, Sibylle; 2.5, Halbleiterphysik und Magnetismus, PTB-Braunschweig
Steinhoff, Uwe; 8.2, Biosignale, PTB-Berlin
Stosch, Rainer; 3.1, Metrologie in der Chemie, PTB-Braunschweig
Trahms, Lutz; 8.2, Biosignale, PTB-Berlin
Weimann, Thomas; 2.4, Quantenelektronik, PTB-Braunschweig
Weser, Jan; 7.1, Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung, PTB-Berlin
Wundrack, Stefan; 3.1, Metrologie in der Chemie, PTB-Braunschweig
Wurm, Matthias; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Yaghobian, Fatemeh; 3.1, Metrologie in der Chemie, PTB-Braunschweig
Zakel, Sabine; 3.1, Metrologie in der Chemie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | CIMM-PTB Seminar on Dynamic Measurements and Nanometrology : proceeding of CIMM-PTB Seminar 2011:(2011), 107 - 125 |
| Herausgeber(in) |
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
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| Verlag | [s.l.]: |
| Konferenzangaben | CIMM-PTB Seminar on Dynamic Measurements and Nanometrology, Beijing, 10-13, May, 2011, China |
| Freie Schlagworte | nanometrology ; nanotechnology ; traceability ; nanoscale ; measurement uncertainty |
| Zusammenfassung | The paper provides a survey about the activities of the PTB in support of nanotechnology. As the metrology institute of Germany, the main target of the related PTB work is directed at the establishment of traceability of measurements of objects with dimensions at the nanoscale at the respective required levels of uncertainty. The different areas of PTB activities in nanometrology will be described and some examples will be explained in more detail. Structure of the paper: 1. Bosse, Harald: Introduction 2. Jordan Gerkens, A.; Buhr, E.; Klein, T.; Frase, C. G.; Krumrey, M.; Dziomba, Th.; Nowak, A.; Ebert, V.: Characterization of nanoparticles 3. Sievers, S.; Schumacher, H.-W.; Steinhoff, U.; Trahms, L.; Schurig, Th.: Magnetic nanoparticles and nanostructures 4. Bug, M.; Hilgers, G.; Nettelbeck, H.; Rabus, H.: Nanodosimetry 5. Stosch, R.; Zakel, S.; Yaghobian, F.; Wundrack, S.; Weimann, Th.; Güttler, B.: Surface enhanced Raman scattering: an example for the use of nanostructures for metrology 6. Ehret, G.; Schulz, M.; Brand, U.; Koenders, L.; Krüger-Sehm, R.; Dziomba, Th.; Dai, G.; Felgner, A.; Meeß, R.: Surface characterization of the nanoscale 7. Bodermann, B.; Wurm, M.; Dai, G.; Danzebrink, H.-U.; Frase, C. G.; Flügge, J.; Gross, H.; Kato, A.; Scholze, F.: Characterization of lithographic nanostructures 8. Material characterization at the nanoscale: 8.1 Beckhoff, B.; Hönicke, P.; Kolbe, M.; Müller, M.; Pollakowski, B.; Reinhardt, F.; Weser, J.: Synchrotron radiation used for material specific analysis in nanometrology 8.2 Nesterov, V.; Brand, U.: Nanoforce metrology 9. Koenders, L.; Dai, G.; Dziomba, T.; Felgner, A.; Flügge, J.; Kuetgens, U.: Crystal lattices used for nanometrology 10. Summary and outlook |
Zitierung
Bosse, H., Beckhoff, B., Bodermann, B., Brand, U., Bug, M. U., Buhr, E., Dai, G., Danzebrink, H.-U., Dziomba, T., Ebert, V., Ehret, G., Felgner, A., Flügge, J., Frase, C. G., Gao, S., Groß, H., Güttler, B., Hilgers, G., Hönicke, P., Jordan-Gerkens, A., Kato, A., Klein, T., Koenders, L., Kolbe, M., Krüger-Sehm, R., Krumrey, M., Kuetgens, U., Meeß, R., Müller, M., Nesterov, V., Nettelbeck, H., Nowak, A., Pollakowski, B., Rabus, H., Reinhardt, F., Scholze, F., Schulz, M., Schumacher, H. W., Schurig, T., Sievers, S., Steinhoff, U., Stosch, R., Trahms, L., Weimann, T., Weser, J., Wundrack, S., Wurm, M., Yaghobian, F., & Zakel, S. (2011). Nanometrology at PTB. CIMM-PTB Seminar on Dynamic Measurements and Nanometrology, Beijing, 10-13, May, 2011, China.