| Zugriffsnummer | 25879 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Neuere Entwicklungen von Normalen für die 3D-Mikro- und Nanometrologie |
| Übersetzungstitel | Recent developments of standards for 3D micro- and nanometrology |
| Autor(in); Institution |
Neuschaefer-Rube, Ulrich; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Neugebauer, Michael; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Dziomba, Thorsten; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Danzebrink, Hans-Ulrich; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Koenders, Ludger; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Bosse, Harald; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Technisches Messen: 78 (2011), 3, 118 - 126 |
| ISSN | 0171-8096 |
| DOI | |
| Verlag | München: Oldenbourg Wissenschaftsverl. |
| Freie Schlagworte | 3D-Mikrometrologie ; Nanometrologie ; Normale ; Metrologische Rückführbarkeit ; Messunsicherheit ; 3D-micrometrology ; nanometrology ; measurement standards ; metrological traceability ; measurement uncertainty |
| Zusammenfassung | Der Beitrag gibt einen Überblick über neuere Entwicklungen von Normalen und Messverfahren für die 3D-Mikro- und Nanometrologie mit Fokus auf Arbeiten der PTB. Ziel der Entwicklungen ist die Verringerung der Messunsicherheiten von Messgeräten zur dimensionellen Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen. The contribution provides an overview on new developments of standards and measurement methods for 3D-micro- and nanometrology with a focus on work at PTB. These developments target at a reduction of measurement uncertainty of instruments used for dimensional characterization of micro- and nanostructures. |
