| Zugriffsnummer | 25308 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Neue Sensorstrukturen für die taktile Messtechnik an Mikrokomponenten |
| Autor(in); Institution |
Bütefisch, Sebastian; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Dai, Gaoliang; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Feldmann, M.; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
Brand, Uwe; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Koenders, Ludger; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Büttgenbach, S.; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
|
| Quelle/Jahr | 4. Kolloquium Mikroproduktion : Fachbeiträge der vier SFB der Mikrotechnik:(2009), 183 - 190 |
| Herausgeber(in) |
Vollertsen, Frank
|
| ISBN | 978-3-933762-32-0 |
| URL | |
| Verlag | Bremen: BIAS-Verlag |
| Konferenzangaben | 4. Kolloquium Mikroproduktion, Bremen, 28-29, Oktober, 2009, Deutschland |
| Freie Schlagworte | taktiler Mikrotaster |
| Zusammenfassung | In diesem Beitrag werden drei neue Designs eines taktilen Mikrotasters beschrieben. Zunächst wird auf einige, den Designprozess beeinflussende Parameter eingegangen. Daraufhin werden die jeweiligen Charakteristika der vorgestellten Designs mit Hilfe von FEM- Analysen untersucht und diskutiert. Abschließend wird kurz auf den Herstellungsprozess eingegangen. |
