| Zugriffsnummer | 25307 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Design, Fertigung und messtechnische Untersuchungen eines Mikroreluktanzaktors |
| Autor(in); Institution |
Hansen, S.; Universität Hannover, Institut für Mikrotechnologie, Garbsen, GERMANY
Bütefisch, Sebastian; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Gatzen, H. H.; Universität Hannover, Institut für Mikrotechnologie, Garbsen, GERMANY
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| Quelle/Jahr | MikroSystemTechnik Kongress 2009: Proceedings:(2009) |
| Herausgeber(in) |
Seidel, Helmut
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| ISBN | 978-3-8007-3183-1 (CD-ROM) |
| Verlag | Berlin: VDE-Verl. |
| Konferenzangaben | MikroSystemTechnik KONGRESS 2009, Berlin, 12-14, Oktober, 2009, Deutschland |
| Freie Schlagworte | linearer Mikroreluktanzaktor |
| Zusammenfassung | Zum Einsatz als miniaturisierter Linearmotor wurde ein linearer Mikroreluktanzaktor entwickelt. Für den Aufbau sowohl des Ständers, als auch des Läufers kommt Dünnfilmtechnik zum Einsatz. Als Material für den magnetischen Kreis wird NiFe45/55 verwendet und als Spulenmaterial Cu. Als Isolatormaterialien dienen sowohl das fotosensitive Epoxidharz SU-8™ und Si3N4. Der Beitrag beschreibt die Fertigung des Aktors sowie die experimentelle Erprobung. |
