| Zugriffsnummer | 23603 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Nano- and micrometrology in PTB: state of the art and future challenges |
| Autor(in); Institution |
Bosse, Harald; 5.2, Dimensionelle Nanometrologie, PTB-Braunschweig
Koenders, Ludger; 5.1, Oberflächenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Härtig, Frank; 5.3, Koordinatenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Buhr, Egbert; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Wilkening, Günter; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | The 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments:(2009), LXVI - LXX |
| Availability | [CD-ROM] ; file name: Volume 1\\0_10.pdf |
| ISBN | 978-3-86509-958-7 (CD) ; 978-3-86509-959-4 (Print) |
| Verlag | Saint-Petersburg: D. S. Rozhdestvensky Optical Society |
| Konferenzangaben | The 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Saint Petersburg, 29, June - 02, July, 2009, Russia |
| Freie Schlagworte | Größenmessung von Nanopartikeln ; Transmissions-Rasterelektronenmikroskopie ; Monte Carlo-Simulation ; dimensional metrology ; mirocmetrology ; nanometrology ; signal modeling |
| Zusammenfassung | Mit einem konventionelles Rasterelektronenmikroskop, das mit einem Transmissions-Elektronendetektor ausgerüstet war, wurden Nanopartikel aus Quarz, Gold und Polystyrol untersucht. Mit diesem Verfahren (Transmission Scanning Electron Microscopy, TSEM) konnten die Partikel sowohl im Hellfeld- als auch im Dunkelfeldmodus abgebildet werden. Die Partikel wurden auf handelsübliche TEM-Netze präpariert. Die Partikeldurchmesser wurden durch Vergleich der gemessenen TSEM-Bildsignale mit entsprechenden Ergebnissen von Monte-Carlo-Simulationen bestimmt, wobei die Eigenschaften der Partikel und des Instruments berücksichtigt wurden. Die gemessenen und modellierten Bildsignale zeigten eine sehr gute Übereinstimmung. Mit der Methode können Größenänderungen im sub-Nanometerbereich nachgewiesen werden. Die für rückgeführte Messungen erforderlichen weiteren Schritte werden vorgestellt. Es wird insgesamt gefolgert, dass das TSEM-Verfahren eine vielversprechende Methode zur dimensionellen Charakterisierung von Nanopartikeln ist. In this paper we will provide an overview of methods and instruments developed and applied at the PTB for high precision dimensional micro- and nanometrology and discuss some challenges for future developments in this important area of dimensional metrology. |
Zitierung
Bosse, H., Koenders, L., Härtig, F., Buhr, E., & Wilkening, G. (2009). Nano- and micrometrology in PTB: state of the art and future challenges. The 9th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Saint Petersburg, 29, June - 02, July, 2009, Russia.