| Zugriffsnummer | 23595 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Modeling and design of electrostatic voltage sensors based on micromachined torsional actuators |
| Autor(in); Institution |
Dittmer, Jan; 2.2, Hochfrequenz und Felder, PTB-Braunschweig
Judaschke, Rolf; 2.2, Hochfrequenz und Felder, PTB-Braunschweig
Büttgenbach, Stephanus; TU Braunschweig, Institute for Microtechnology, Braunschweig, GERMANY
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| Quelle/Jahr | Nanotechnology 2008: 3 (2008), 521 - 524 |
| ISBN | 978-1-4200-8505-1 |
| URL | |
| Konferenzangaben | NSTI Nanotech 2008, Boston, 01-05, June, 2008, USA |
| Freie Schlagworte | rf MEMS ; design ; modeling ; electrostatic ; torsional actuator ; rms voltage |
