| Zugriffsnummer | 22997 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Chirp-Kalibriernormale für Oberflächenmessgeräte |
| Übersetzungstitel | Chirp calibration standards for surface measuring instruments |
| Autor(in); Institution |
Krüger-Sehm, Rolf; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Bakucz, Peter; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Jung, Lena; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Wilhelms, Harald; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Technisches Messen: 74 (2007), 11, 572 - 576 |
| ISSN | 0171-8096 |
| DOI | |
| Verlag | München: Oldenbourg |
| Freie Schlagworte | Kalibriernormal ; Tastschnittgerät ; Interferenzmikroskop ; konfokales Mikroskop |
| Zusammenfassung | In diesem Beitrag wird ein "Chirp"- Oberflächennormal vorgestellt. Es ist dafür vorgesehen, mit einer Serie von verschiedenen Ortsfrequenzen das Übertragungsverhalten von Oberflächenmessgeräten zu testen. Die Topografie des Normals enthält eine abgestufte Folge von Sinuswellen, deren Abstände, Steigungen und Krümmungen durch den Synthese- und Fertigungsprozess genau bekannt sind. Die Oberfläche des Normals wird durch einen Diamant-Drehprozess hergestellt. Bei der Erzeugung der NC-Steuerdaten wird mittels morphologischer Operationen der Einfluss der Werkzeuggeometrie berücksichtigt. Erste Ergebnisse von Messungen am Chirp-Normal mit Interferenzmikroskopen und Tastschnittgeräten werden gezeigt. In this article a chirp-calibration standard is presented. It is intended to test the instrument transfer behaviour of surface measuring instruments by a series of different space scaled frequencies. The specimen contains a sequence of sinusoidal waves, the distance, slopes and curvatures of which are well known by the design and manufacturing process. The surface of the specimen is manufactured by a single diamond turning process. The control data take into account the influence of the cutting tool by morphological operations. First results of measurements on the chirp standard by contact stylus instrument and interference microscope are presented. |
