| Zugriffsnummer | 21909 |
| Dokumenttyp | Dissertation |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Röntgenreflektometrie und diffuse Röntgenstreuung zur Charakterisierung von Grenzflächenrauheiten und Grenzflächenmorphologien im Bereich der Nanometrologie |
| Autor(in); Institution |
Busch, Ingo; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | (2004), VII, 99 S. |
| Dissertationsvermerk | Dissertation, Technische Universität Braunschweig, 2004 |
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| Zusammenfassung | In der Arbeit wird die Eignung der diffusen Röntgenstreuung für die zerstörungsfreie Analyse mesoskopischer Grenzflächenstrukturen an ultradünnen Schichtsystemen untersucht. Hierbei liegt besonderes Augenmerk auf deren Einsatz für metrologische Anwendungen. Zwei Fragestellungen werden bearbeitet: 1. Die kurzfristige Bereitstellung der spekulären Reflexion für die Schichtdickenmessung unterhalb von 100 nm und die Charakterisierung von Referenzproben für diesen Einsatz. 2. Untersuchungen zum mittelfristigen Einsatz der diffusen Röntgenstreuung für die Rauheitsmessung an mesoskopischen Grenzflächen. |
