| Zugriffsnummer | 21764 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Konstruktive Realisierung eines hochaperturigen 193nm-Mikroskops für die quantitative dimensionelle Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen [poster] |
| Autor(in); Institution |
Ehret, Gerd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Pilarski, Frank; 5.5, Wissenschaftlicher Gerätebau, PTB-Braunschweig
Bergmann, Detlef; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Bodermann, Bernd; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Buhr, Egbert; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Mirandé, Werner; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | DGaO-Proceedings: 109 (2008), P34 |
| Availability | [Online only] |
| ISSN | 1614-8436 |
| URL | |
| Verlag | Erlangen: Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik |
| Konferenzangaben | 109. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), Esslingen, 13-17, Mai, 2008, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Phasenmasken ; Mikrolithografie ; Fokussierung ; Mikroskopie ; Strukturbreiten |
| Zusammenfassung | An der PTB wird zur Zeit ein neuartiges, hochaperturiges optisches 193nm-Mikroskop zur quantitativen Messung von Strukturbreiten von 10 μm bis 100 nm mit Messunsicherheiten von 10 nm (95%-Vertrauensintervall) aufgebaut. Es wird die konstruktive Realisierung des Mikroskops sowie das Konzept der Beleuchtung vorgestellt. |
Zitierung
Ehret, G., Pilarski, F., Bergmann, D., Bodermann, B., Buhr, E., & Mirandé, W. (2008). Konstruktive Realisierung eines hochaperturigen 193nm-Mikroskops für die quantitative dimensionelle Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen [poster]. 109. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), Esslingen, 13-17, Mai, 2008, Deutschland.