| Zugriffsnummer | 21186 |
| Dokumenttyp | Buchartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Kalibrierung von konfokalen und Interferenzmikroskopen |
| Autor(in); Institution |
Krüger-Sehm, Rolf; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Handbuch zur industriellen Bildverarbeitung : Qualitätssicherung in der Praxis:(2007), 233 - 239 |
| Auflage | 1. Auflage |
| Herausgeber(in) |
Bauer, Norbert
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| ISBN | 978-3-8167-7386-3 |
| Verlag | Stuttgart: Fraunhofer IRB-Verlag |
| Freie Schlagworte | Kalibrierung ; Rückführung ; Interferenzmikroskopie ; Konfokale Mikroskopie |
| Zusammenfassung | In diesem Beitrag wird die Kalibrierung von Interferenzmikroskopen und Konfokalen Mikroskopen beschrieben. Die dabei angewendeten Verfahren orientieren sich an den für Tastschnittgeräten bekannten Methoden und es werden, so weit es sinnvoll ist, die gleichen Begriffe, und Normale zur Kalibrierung benutzt, wie sie auch in den ISO-Normen zu den Geometrischen Produktspezifikationen (GPS) verwendet werden. |
