| Zugriffsnummer | 21164 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Wägezellen-Federkörper aus einkristallinem Silizium |
| Autor(in); Institution |
Mäuselein, Sascha; 1.1, Masse, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Sensors:(2007), 8 - 8 |
| ISSN | NO-ISSN |
| Verlag | Weinheim: WILEY-VCH |
| Freie Schlagworte | Wägezelle ; Wägetechnik ; Silizium |
| Zusammenfassung | Die ideal elastischen Materialeigenschaften von einkristallinem Silizium machen dieses Material interessant für den Einsatz in Präzisionswaagen. Ein erster Wägezellen-Federkörper aus einkristallinem Silizium mit einer Nennlast von 6 kg wurde in der PTB entwickelt und gefertigt. Hierbei stellen das spröde Materialverhalten von Silizium und die zu realisierenden, 1 mm dicken Dünnstellen eine besondere fertigungstechnische Herausforderung dar. In nachfolgenden Entwicklungsschritten wurden mit dem Dünnschichtverfahren der Sputterdeposition Dehnungsmessstreifen an ausgewählten Positionen auf dem Federkörper appliziert und erste experimentelle Untersuchungen durchgeführt. Hinweis: Der Autor ist in der Veröffentlichung nicht namentlich genannt. |
