| Zugriffsnummer | 20804 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Weiterentwicklung des TMS-Verfahrens zur hochauflösenden und hochgenauen optischen Formmessung |
| Autor(in); Institution |
Schulz, Michael; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Wiegmann, Axel; 4.2, Bild- und Wellenoptik, PTB-Braunschweig
Elster, Clemens; 8.4, Mathematische Modellierung und Datenanalyse, PTB-Berlin
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| Quelle/Jahr | DGaO-Proceedings: 108 (2007), A4 |
| Availability | [Online only] |
| ISSN | 1614-8436 |
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| Verlag | Erlangen: Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik |
| Konferenzangaben | 108. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), Heringsdorf, 29, May - 02, June, 2007, Germany |
| Zusammenfassung | Das TMS (Traceable Multi Sensor) - Verfahren nutzt ein System aus gekoppelten Abstandssensoren in Kombination mit einem Autokollimator zur scannenden Messung optischer Oberflächen. Der aktuelle Stand der TMS-Messtechnik und Weiterentwicklungen des Systems zur Messung nahezu planer und schwach gekrümmter optischer Oberflächen werden vorgestellt, wobei speziell auf den Einfluss der Interferometerfehler eingegangen wird. |
