| Zugriffsnummer | 19996 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Eine neue 3D Kalibrierstrategie für Mikro- und Nanomessverfahren |
| Autor(in); Institution |
Ritter, M.; Bundesanstalt für Materialforschung und -Prüfung (BAM), Berlin, GERMANY
Dziomba, Thorsten; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Xu, Min; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Koenders, Ludger; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Kranzmann, A.; Bundesanstalt für Materialforschung und -Prüfung (BAM), Berlin, GERMANY
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| Quelle/Jahr | Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering : Tagung Erlangen, 29. und 30. November 2006:(2006), 15 - 24 |
| Schriftenreihe | VDI-Berichte: 1950 |
| ISBN | 3-18-091950-7 |
| Verlag | Düsseldorf: VDI-Verlag |
| Konferenzangaben | GMA-Fachtagung "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering", Erlangen, 29-30, November, 2006, Germany |
| Zusammenfassung | Wir präsentieren eine neue Methode für die umfassende dreidimensionale (3D) Kalibrierung von Rastersondenmikroskopen (SPM) bzw. Rasterkraftmikroskopen (SFM) und anderen, hochauflösenden Rastermikroskopen, wie konfokalen Laserrastermikroskopen (CLSM) und Rasterelektronenmikroskopen (SEM), mit einer 3D Mikrostruktur in der Form einer Stufenpyramide. Im Gegensatz zu bisherigen Kalibriermethoden, für die separate laterale und vertikale Referenzstrukturen wie z.B. Gitter oder Stufenhöhen benötigt werden, basiert das hier vorgestellte neue Verfahren auf dem Prinzip von Referenzmarken und erlaubt unter optimalen Voraussetzungen die geometrische Kalibrierung von Rastermikroskopen in einem einzelnen Auswerteschritt. Zu diesem Zweck wurde ein Algorithmus zur Parameterschätzung einer dreidimensionalen geometrischen Transformation mit 3 Skalierungs- und 3 Kopplungsfaktoren entwickelt, der eine gleichzeitige, laterale und vertikale Kalibrierung erlaubt. Damit ist es mit der neuen Kalibrierstrategie möglich, lineare geometrische Führungsabweichungen im SPM zu bestimmen: laterale und vertikale Massstabsfehler sowie Kopplungseffekte die sich durch eine laterale Koordinatenverschiebung in Abhängigkeit der Höhe äussern. |
