| Zugriffsnummer | 19804 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | In-line monitoring von Feuchtespuren und weiteren kritischen Verunreinigungen in Bulk- und Korrosivgasen der Mikroelektronik |
| Autor(in); Institution |
Beese, H.; Dresden, GERMANY
Grählert, W.; Dresden, GERMANY
Hopfe, V.; Dresden, GERMANY
Petzold, F.; Dresden, GERMANY
Kaspersen, P.; Oslo, NORWAY
Bohman, A.; Oslo, NORWAY
Mackrodt, Peter; 3.2, Analytische Messtechnik und Druck, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Anwendungen und Trends in der Optischen Analysenmesstechnik : 5. Konferenz über Optische Analysenmesstechnik in Industrie und Umwelt, Konferenz Mannheim, 26. bis 27. September 2006:(2006), 57 - 62 |
| Schriftenreihe | VDI-Berichte: 1959 |
| Herausgeber(in) |
VDI-Kompetenzfeld Optische Technologien
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| ISBN | 3-18-091959-0 |
| Verlag | Düsseldorf: VDI-Verlag |
| Konferenzangaben | OPTAM-Tagung 2006, Mannheim, 26-27, September, 2006, Germany |
| Zusammenfassung | Auf Basis der Laserdiodenspektroskopie (LDS) wurde ein Messsystem zur simultanen Messung von bis zu drei Spurengasen in Bulk- und Sondergasen entwickelt und getestet. Die Erweiterung der derzeitigen LDS-Sensorik auf das Monitoring von Spurengasen in extrem korrosiven/reaktiven Sondergasen mit kurzen Ansprechzeiten konnte durch geeignete Materialauswahl, ein sorgfältiges Design sowie die Anwendung optischer und fluiddynamischer Simulationen realisiert werden. Referenzmessungen (Tauspiegel) weisen eine exzellente Linearität des LDS-Messsytems über vier Größenordnungen nach. Messserien in Bulkgasen, Wasserstoff und Chlorwasserstoff zeigen den sicheren Nachweis der derzeit geringsten Feuchtespezifikation der Gasproduzenten. Mit Hilfe einer Hintergrundkorrektur konnten selbst spektroskopisch anspruchsvolle Messungen von Feuchte 100% NH3 mit ähnlicher Nachweisgrenze durchgeführt werden. Methan- und Sauerstoffspuren werden gleichfalls mit Nachweisgrenzen im sub-ppb bzw. sub-ppm Bereich nachgewiesen. Im Vergleich zu derzeit kommerziell verfügbaren LDS-Spurengassensoren zielt das entwickelte System auf den korrosiven und reaktiven Gasen sowie eine wesentlich breitere, flexible Auswahl der Spurengase ab. Die bisher getesteten Spektrometermodule können leicht durch weitere Standardmodule für z.B. CO, CO2, C2H2, H2S, NO, N2O, NH3, HCI, HF und HCN ausgetauscht werden. |
Zitierung
Beese, H., Grählert, W., Hopfe, V., Petzold, F., Kaspersen, P., Bohman, A., & Mackrodt, P. (2006). In-line monitoring von Feuchtespuren und weiteren kritischen Verunreinigungen in Bulk- und Korrosivgasen der Mikroelektronik. OPTAM-Tagung 2006, Mannheim, 26-27, September, 2006, Germany.