| Zugriffsnummer | 19620 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Taktile Sensoren für die Mikromesstechnik |
| Autor(in); Institution |
Büttgenbach, S.; TU Braunschweig, Braunschweig, GERMANY
Brand, Uwe; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Bütefisch, Sebastian; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Herbst, Ch.; TU Braunschweig, Braunschweig, GERMANY
Krah, T.; TU Braunschweig, Braunschweig, GERMANY
Phataralaoha, A.; TU Braunschweig, Braunschweig, GERMANY
Tutsch, R.; TU Braunschweig, Braunschweig, GERMANY
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| Quelle/Jahr | Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering : Tagung Erlangen, 29. und 30. November 2006:(2006), 109 - 118 |
| Schriftenreihe | VDI-Berichte: 1950 |
| ISBN | 3-18-091950-7 |
| Verlag | Düsseldorf: VDI-Verlag |
| Konferenzangaben | GMA-Fachtagung "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering", Erlangen, 29-30, November, 2006, Germany |
| Freie Schlagworte | 3D-Kraftsensor ; Mikroaktoren ; Batch-Fertigung ; Parallelisierte taktile Messtechnik ; Mikrosensor |
| Zusammenfassung | Da der industrielle Einsatz mikrotechnischer Produkte immer mehr zunimmt, kommt es zu einem erhöhten Bedarf an Mess- und Prüftechnik für Mikrosysteme. Der vorliegende Beitrag beschreibt Design und Eigenschaften eines taktilen Mikrosensors zur Messung kleiner Kräfte im Mikro- und Millinewtonbereich. Anwendungsgebiete sind unter anderem die dimensionelle Messtechnik für Komponenten der Mikrosystemtechnik, die Charakterisierung nachgiebiger Mikrostrukturen und die Bestimmung der von Mikroaktoren erzeugten Kräfte. Aufgrund der in der Mikrotechnik üblichen Batch-Fertigung ist eine rein seriell arbeitende taktile Antastung für die fertigungsnahe Prüfung von Mikrosystemen nicht wirtschaftlich anwendbar. Um sowohl Formabweichungen eines in der Fertigung befindlichen Substrats wie auch Strukturabmessungen einzelner Mikrosysteme erfassen zu können, wurden erste Schritte zur Entwicklung einer parallelisierten taktilen Messtechnik unternommen. |
