| Zugriffsnummer | 17192 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Zerstörungsfreie Charakterisierung von Halbleiterwafern und photovoltaischen Bauelementen mit SQUID-Sensoren |
| Autor(in); Institution |
Schurig, Thomas; 7.13, Kryosensorik, PTB-Berlin
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| Quelle/Jahr | Supraleitung und Tieftemperaturtechnik:(2001), 44 |
| ISBN | 3-00-007828-2 |
| Verlag | Düsseldorf: VDI-Technologiezentrum |
| Konferenzangaben | 7.VDI-Statusseminar Supraleitung und Tieftemperaturtechnik 2000, Garmisch-Partenkirchen, 14-15, Dezember, 2000, Deutschland |
| Freie Schlagworte | VDI |
| Zusammenfassung | Die zerstörungsfreie Charakterisierung von Materialien und Bauteilen mit hoher Ortsauflösung, wie z.B. die Korrosionsprüfung von Betonbauten und Flugzeugteilen, stellt bekanntlich ein wichtiges Anwendungsgebiet für SQUID Sensoren dar. Mit dem 1999 begonnenen Verbundvorhaben SQUID-Photoscanning Messverfahren, an dem neben der PTB das Institut für Kristallzüchtung im Forschungsverbund Berlin, die TU Bergakademie Freiberg und die Innomess Elektronik GmbH beteiligt sind, wird die Zielstellung verfolgt, SQUID-gestützte Analyseverfahren für Halbleitermaterialien, insbesondere Silizium-Wafer, und photovoltaische Bauelemente zu entwickeln. Schwerpunkt ist dabei die Diagnostik von Dotierungsinhomogenitäten in Wafern und die Untersuchung von Solarzellen in verschiedenen Stadien der Fabrikation auf Defekte oder Degradation. Von den Projektpartnern werden parallel zwei Methoden verfolgt, denen gemeinsam ist, dass durch Beleuchtung der Proben Fotoströme generiert werden, deren Magnetfeld mit einem SQUID-Sensor ortsaufgelöst gemessen wird. Während beim CASQ-(Current Analysis by SQUIDs)-Verfahren der TU Bergakademie Freiberg die ortsaufgelöste Messung ähnlich wie bei einem SQUID Mikroskop durch ein kleines HTS-dc-SQUID Magnetometer in einem Dewar mit geringer Bodendicke erfolgt, wird beim SQUID-Photoscanning-Verfahren an Halbleiterwafern die hohe Ortsauflösung durch Abscannen der Probenoberfläche mit einem fokussierten Laserstrahl und gleichzeitiger Detektion der Magnetfelder der generierten Fotoströme mit herkömmlichen SQUID-Magnetometern erreicht. Im Vortrag werden die im Verbundvorhaben entwickelten Instrumentierungen der Verfahren erläutert und Messungen vorgestellt. |
