| Zugriffsnummer | 16797 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel in Zeitschrift |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Superconducting coplanar nanolines with 50 nm linewidth |
| Autor(in); Institution |
Weimann, Thomas; 2.404, Nanostrukturen für technische Anwendungen, PTB-Braunschweig
Hinze, Peter; 2.404, Nanostrukturen für technische Anwendungen, PTB-Braunschweig
Wünsch, S.; Universität Karlsruhe, Karlsruhe, GERMANY
Scherer, T. A.; Universität Karlsruhe, Karlsruhe, GERMANY
Jutzi, W.; Universität Karlsruhe, Karlsruhe, GERMANY
Niemeyer, Jürgen; 2.4, Quantenelektronik, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering : September 16 - 19, 2002, Lugano, Switzerland. Microelectronic Engineering: 67-68 (2003), 363 - 368 |
| Herausgeber(in) |
Brugger, J.; EPFL, Lausanne, SWITZERLAND
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| ISSN | 0167-9317 |
| Verlag | Amsterdam [u.a.]: Elsevier |
| Konferenzangaben | International Conference on Micro- and Nano-Engineering, MNE 2002, Lugano, 16-19, September, 2002, Switzerland |
| Freie Schlagworte | Nanowire ; Superconductivity ; Dry-etching ; E-beam lithography ; Waveguide |
