| Zugriffsnummer | 15994 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel in Zeitschrift |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Scanning Probe Microscopy for quantitative measurements : a state-of-the art review |
| Autor(in); Institution |
Wilkening, Günter; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Jemn.aacute. mechanika a optika:(2002), 6-7, 190 - 194 |
| ISSN | 0447-6441 |
| Verlag | Praha: |
| Konferenzangaben | 2nd International Workshop on Scanning Probe Microscopy, Brno, 25-26, March, 2002, Czech Republic |
| Zusammenfassung | State of the art review on metrological SPMs, calibration, calibration artefacts. |
