| Zugriffsnummer | 15799 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Development of EUV metrology: spatial resolved absolute EUV spectroscopy |
| Autor(in); Institution |
Schürmann, M.; JENOPTIK Mikrotechnik GmbH, Jena, GERMANY
Klein, Roman; 7.12, Röntgenradiometrie, PTB-Berlin
Scholze, Frank; 7.12, Röntgenradiometrie, PTB-Berlin
Ulm, Gerhard; 7.1, Photonenradiometrie, PTB-Berlin
Lebert, R.; AIXUV GmbH, Aachen, GERMANY
Juschkin, L.; AIXUV GmbH, Aachen, GERMANY
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| Quelle/Jahr | Lambda Highlights:(2002), 61, 1 - 3 |
| ISSN | 1616-4261 |
| Verlag | Göttingen: Lambda Physik AG |
