| Zugriffsnummer | 15567 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Peer Review | unbekannt |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Topography measurement of nanometer synchrotron-optics |
| Autor(in); Institution |
Illemann, Jens; 4.21, Bildoptik und Spektrometrie, PTB-Braunschweig; Möller-Wedel Optical GmbH, Wedel, GERMANY
Geckeler, Ralf D.; 4.21, Bildoptik und Spektrometrie, PTB-Braunschweig
Illemann, Ingolf; 4.21, Bildoptik und Spektrometrie, PTB-Braunschweig
Schlewitt, C.; Möller-Wedel Optical GmbH, Wedel, GERMANY
Grubert, B.; Möller-Wedel Optical GmbH, Wedel, GERMANY
Schnabel, O.; Schnabel Elektronische Meßtechnik, Wedel, GERMANY
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| Quelle/Jahr | X-ray mirrors, crystals, and multilayers II:(2002), 29 - 37 |
| Schriftenreihe | Proceedings of SPIE: 4782 |
| Herausgeber(in) |
Freund, Andreas K.
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| ISSN | 0277-786X |
| ISBN | 0-8194-4549-5 |
| DOI | |
| Verlag | Bellingham, Wash.: SPIE |
| Konferenzangaben | International Symposium on Optical Science and Technology ; SPIE's 47th Annual Meeting, Seattle, 7-11, July, 2002, USA |
| Freie Schlagworte | profilometry ; optical metrology ; X-ray optics ; figure measurement ; long-trace profiler ; slope error ; non-contact measurement ; autocollimator ; curvature |
Zitierung
Illemann, J., Geckeler, R. D., Illemann, I., Schlewitt, C., Grubert, B., & Schnabel, O. (2002). Topography measurement of nanometer synchrotron-optics. International Symposium on Optical Science and Technology ; SPIE's 47th Annual Meeting, Seattle, 7-11, July, 2002, USA. https://doi.org/10.1117/12.450982