| Zugriffsnummer | 15532 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Englisch |
| Titel | About calibration of thickness standards on the nanometre scale |
| Autor(in); Institution |
Hasche, Klaus; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
Ulm, Gerhard; 7.1, Photonenradiometrie, PTB-Berlin
Herrmann, Konrad; 5.12, Mikro- und Nanotopographie, PTB-Braunschweig
Krumrey, Michael; 7.12, Röntgenradiometrie, PTB-Berlin
Ade, George; 2.404, Nanostrukturen für technische Anwendungen, PTB-Braunschweig
Stümpel, Jürgen; 5.103, Charakterisierung von Grenzflächenstrukturen, PTB-Braunschweig
Busch, Konrad; 5.32, Koordinatenmessgeräte, PTB-Braunschweig
Thomsen-Schmidt, Peter; 5.12, Mikro- und Nanotopographie, PTB-Braunschweig
Schädlich, S.; Fraunhofer Institute for Material and Beam Technology (IWS), Dresden, GERMANY
Schindler, A.; Institute for Surface Modification (IOM), Leipzig, GERMANY
Frank, W.; Institute for Surface Modification (IOM), Leipzig, GERMANY
Procop, M.; Federal Institute for Material Research and Testing (BAM), Berlin, GERMANY
Beck, U.; Federal Institute for Material Research and Testing (BAM), Berlin, GERMANY
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| Quelle/Jahr | Proceedings of the 3rd International Conference [and 4th General Meeting of the] European Society for Precision Engineering and Nanotechnology. Vol. 2:(2002), 549 - 552 |
| Herausgeber(in) |
Delbressine, F. L. M.
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| ISBN | 90-386-2883-8 |
| Verlag | Eindhoven: Universiteitsdr. TU Eindhoven |
| Konferenzangaben | 3rd euspen International Conference, Eindhoven, 26-30, May, 2002, The Netherlands |
Zitierung
Hasche, K., Ulm, G., Herrmann, K., Krumrey, M., Ade, G., Stümpel, J., Busch, K., Thomsen-Schmidt, P., Schädlich, S., Schindler, A., Frank, W., Procop, M., & Beck, U. (2002). About calibration of thickness standards on the nanometre scale. 3rd euspen International Conference, Eindhoven, 26-30, May, 2002, The Netherlands.