| Zugriffsnummer | 14616 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Englisch |
| Titel | A novel piezo calibration platform for probe dynamic performance calibration |
| Autor(in); Institution |
Liang, Rong; Physik-Instrumente, Waldbronn, GERMANY
Jusko, Otto; 5.31, Maß und Form, PTB-Braunschweig
Lüdicke, Frank; 5.31, Maß und Form, PTB-Braunschweig
Neugebauer, Michael; 5.31, Maß und Form, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Measurement Science and Technology: 12 (2001), 19, 1509 - 1514 |
| ISSN | 0957-0233 |
| Verlag | Bristol: IOP Publ. |
| Freie Schlagworte | probe calibration ; form measurement ; interferometer ; digital signal processor control |
