| Zugriffsnummer | 12941 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Opto-taktiler Sensor für die 2D- und 3D-Messung kleiner Strukturen auf Koordinatenmessgeräten |
| Übersetzungstitel | Opto-tactile sensor for 2D- and 3D measurement of small structures on coordinate-measuring machines |
| Autor(in); Institution |
Schwenke, Heinrich; 5.32, Koordinatenmessgeräte, PTB-Braunschweig
Wieskirch, Christian; 5.32, Koordinatenmessgeräte, PTB-Braunschweig
Kunzmann, Horst; Präsidium, MP, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Technisches Messen: 66 (1999), 12, 485 - 489 |
| ISSN | 0171-8096 (PRINT) ; 2196-7113 (ONLINE) |
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| Verlag | München: Oldenbourg |
| Freie Schlagworte | Koordinatenmesstechnik ; Tastsystem ; Mikrosystemtechnik |
| Zusammenfassung | Es wird ein berührend messender Senson für die dimensionelle Erfassung kleiner Strukturen auf Koordinatenmessgeräten vorgestellt. Durch das neuartige Messprinzip, das eine Kombination aus taktilen und optischen Verfahren darstellt, lassen sich Antastelemente mit einem Durchmesser unter 50 µm realisieren. Die erreichbaren Messunsicherheiten liegen im Sub-Mikrometer-Bereich. Erstmals wird eine erweiterte Anordnung beschrieben, die aufbauend auf dem gleichen Messprinzip eine vollständige dreidimensionale Messfähigkeit erreicht. Anhand von beispielhaften Messergebnissen wird die derzeitige Leistungsfähigkeit des zweidimensionalen und des dreidimensionalen Sensors gezeigt. A tactile probing system for dimensional measurement of small structures is presented. By a new measurement principle, which combines optical and mechanical techniques, probing elements below 50 µm can be realized. The measurement uncertainties are in the sub-micrometer order. For the first time a system is presented, which realizes a full 3D sensitivity on the base of the opto-tactile concept. Some exemplary measurements show the capability of the new sensor. |
