| Zugriffsnummer | 12936 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Nanopositionierungen - die Basis der Nanometrologie |
| Autor(in); Institution |
Wilkening, Günter; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Technisches Messen: 67 (2000), 7/8, 298 |
| ISSN | 0171-8096 |
| DOI | |
| Verlag | München: Oldenbourg |
| Freie Schlagworte | Nanotechnologie ; Nanometrologie ; 2D-Positioniervorrichtungen ; hochauflösende Positionsmesssysteme |
| Zusammenfassung | Nanopositionierungen sind wesentliche Hilfsmittel für die Nanotechnologie, insbesondere auch für die Nanometrologie. Einsatzgebiete für die Positionierungen sind nicht nur auf Verschiebewege im μm-Bereich beschränkt, sondern umfassen auch den Bereich bis über 100 mm hinaus. Es sind eine Reihe verschiedener Verschiebemethoden für die 2D-Positionierung in der Literatur beschrieben worden und z.T. auch kommerziell erhältlich. Ebenso sind adäquate Messmethoden realisiert worden. In der vorliegenden Übersicht sind verschiedene relevante Verschiebe- und Messmethoden tabellarisch zusammengefasst worden. Drei Beispiele von Positionierungen werden detaillierter erläutert, bei denen sehr unterschiedliche Konzepte realisiert wurden. |
