| Zugriffsnummer | 12935 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | So genau wie möglich : Maßverkörperungen für die Rückführung von Schichtdickenmessungen |
| Autor(in); Institution |
Ahbe, Thomas; 5.21, Härte und Schichtdicke, PTB-Berlin
Herrmann, Konrad; 5.21, Härte und Schichtdicke, PTB-Berlin
Hoffmann, Klaus-Peter; 5.21, Härte und Schichtdicke, PTB-Berlin
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| Quelle/Jahr | Metalloberfläche: 54 (2000), 5, 46 - 49 |
| ISSN | 0026-0797 |
| Verlag | München: IGT |
| Freie Schlagworte | Kalibrierung ; Rückführung ; Schichtdickenmessung ; Maßverkörperung ; Normal |
| Zusammenfassung | In der PTB werden Untersuchungen zur Entwicklung, Herstellung und Kalibrierung von Schichtdickenmaßverkörperungen durchgeführt. Beispiele von Maßverkörperungen liegen vor. Gemeinsam mit der Industrie wird jetzt an der Bereitstellung von rückgeführten Maßverkörperungen für die in der Praxis dringend geforderten Materialkombinationen gearbeitet, wobei eine Unsicherheit von zunächst etwa 3 % erreicht werden soll. In der Folgezeit wird das Sortiment erweitert. Darüber hinaus besteht auch die Möglichkeit, geeignete Maßverkörperungen aus Materialien von Interessenten zu kalibrieren. Es wurde mit Untersuchungen zur zusätzlichen Beschreibung der Maßverkörperungen durch die Flächenmasse bzw. Dichte des Schichtmaterials begonnen. Außerdem sollen kalibrierte Maßverkörperungen für den Bereich sehr dünner Schichten (h = 1...100 nm) geschaffen werden. Für diese Arbeiten ist die Kooperation mit anderen Instituten im Rahmen eines BMBF-Projektes geplant. |
