| Zugriffsnummer | 12931 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Schichtdickenbestimmung durch profilometrisches Messen in Verbindung mit örtlich begrenzter Schichtablösung |
| Autor(in); Institution |
Hoffmann, Klaus-Peter; 5.12, Mikro- und Nanotopographie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Galvanotechnik: 91 (2000), 1, 82 - 87 |
| ISSN | 0016-4232 |
| Freie Schlagworte | Schichtdickenmessung ; Profilometer ; Tastschnittgerät ; Schichtablösung |
| Zusammenfassung | Es wird über eine Methode zur Schichtdickenbestimmung durch Messungen von Oberflächentastschnitten berichtet. Dabei wird die Differenz von vor und nach der örtlichen Ablösung an der selben Probenstelle gemessenen Tastschnittkurven ausgewertet. Zur örtlich begrenzten elektrochemischen Entfernung von Schichten wird eine PC-gesteuerten Elektrolysezelle verwendet. Da Schichtreste und Substratabtrag an der Ablösestelle die Schichtdickenmessung beeinflussen, muß der Prozeß der Schichtentfernung optimiert werden, was an den Beispielen Kupfer und Nickel auf Stahlsubstrat erläutert wird. |
