| Zugriffsnummer | 12911 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Optoelektronischer Sensor zur hochpräzisen Messung von Rollwinkeln bei Linearführungen |
| Autor(in); Institution |
Schulz, Michael; 4.21, Bildoptik und Spektrometrie, PTB-Braunschweig
Fricke, Andreas; 4.21, Bildoptik und Spektrometrie, PTB-Braunschweig
Reinsch, Heiko; 4.21, Bildoptik und Spektrometrie, PTB-Braunschweig
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| Quelle/Jahr | Photonik:(2000), 2, 38 - 40 |
| ISSN | 1432-9778 |
| Zusammenfassung | Bei mechanischen Linearführungen treten Fehler als Abweichungen von der exakten, geradlinigen Bewegung auf. Ein solcher Fehler ist das "Rollen", d.h. eine Drehbewegung um eine Achse in Bewegungsrichtung. Der nachfolgend beschriebene Sensor nutzt ein polarisationsoptisches Verfahren, um den Rollfehler berührungslos zu messen. Das System arbeitet universell, mit sehr hoher Auflösung und auch über große Distanzen. Wird der Sensor in einen aktiven Regelkreis eingefügt und der entstandene Fehler über geeignete Aktoren ausgeregelt, so kann man den Rollfehler eliminieren und eine aktive "ideale Führung" bauen. Für die PTB ist diese Rollfehlerkompensation ein wichtiger Baustein bei der Realisierung einer Ultrapräzisionsapparatur zur Messung optisch glatter Flächen, die eine Höhenauflösung in der Größenordnung eines Atomdurchmessers hat. |