| Zugriffsnummer | 12702 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Englisch |
| Titel | Standards for the calibration of SPMs: design - traceable calibration - application. Normale für die Kalibrierung von Rastersondenmikroskopen: Entwurf - Rückführbare Kalibrierung - Anwendung |
| Autor(in); Institution |
Garnaes, Joergen; Danish Institute of Fundamental Metrology, Lyngby, Denmark
Kofod, Niels; Danish Institute of Fundamental Metrology, Lyngby, Denmark
Kühle, A.; Danish Institute of Fundamental Metrology, Lyngby, Denmark
Besmens, Peter; Nanosensors, Wetzlar, GERMANY
Ohlsson, Olaf; Nanosensors, Wetzlar, GERMANY
Rasmussen, J.B.; Ibsen Micro Structures, Farum, DENMARK
Wilkening, Günter; 5.1, Nano- und Mikrometrologie, PTB-Braunschweig
Koenders, Ludger; 5.12, Mikro- und Nanotopographie, PTB-Braunschweig
Garnaes, Werner; 4.22, Bildanalyse, PTB-Braunschweig
Hasche, Klaus; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
Haycocks, J.
Nunn, J.
Stedman, N.
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| Quelle/Jahr | X. International Colloquium on Surfaces = X. Internationales Oberflächenkolloquium:(2000), Proceedings + Poster, 277 - 287 |
| Herausgeber(in) |
Dietzsch, M.
Trumpold, H.
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| ISBN | 3-8265-6999-7 |
| Verlag | Aachen: Shaker |
| Konferenzangaben | X. International Colloquium on Surfaces, Chemnitz, 31, January - 2, February, 2000, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Rastersondenmikroskopie ; quantitative Mikroskopie ; Kalibriernormale |
| Zusammenfassung | In a European project a complete set of standards for the calibration of Scanning Probe Microscopes has been designed and prototypes are now available. Properties and achievable calibration uncertainties are discussed. |
Zitierung
Garnaes, J., Kofod, N., Kühle, A., Besmens, P., Ohlsson, O., Rasmussen, J., Wilkening, G., Koenders, L., Garnaes, W., Hasche, K., Haycocks, J., Nunn, J., & Stedman, N. (2000). Standards for the calibration of SPMs: design - traceable calibration - application. Normale für die Kalibrierung von Rastersondenmikroskopen: Entwurf - Rückführbare Kalibrierung - Anwendung. X. International Colloquium on Surfaces, Chemnitz, 31, January - 2, February, 2000, Deutschland.