| Zugriffsnummer | 12652 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Entwicklung und Untersuchung von 3D-Tastsensoren [poster] |
| Autor(in); Institution |
Kleine-Besten, Thomas; 5.101, Mikrosystem-Messtechnik, PTB-Braunschweig
Brand, Uwe; 5.101, Mikrosystem-Messtechnik, PTB-Braunschweig
Schlachetzki, Andreas; Inst. f. Halbleitertechnik, TU Braunschweig, GERMANY
Bütefisch, Sebastian; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
Büttgenbach, Stephanus; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
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| Quelle/Jahr | Sensoren und Meßsysteme 2000:(2000), 921 - 926 |
| Schriftenreihe | VDI-Berichte: 1530 |
| ISBN | 3-18-091530-7 |
| Verlag | Düsseldorf: VDI-Verlag |
| Konferenzangaben | Sensoren und Meßsysteme 2000, Ludwigsburg, 13-14, März, 2000, Deutschland |
| Freie Schlagworte | Boss-Membran ; Piezo-Resistiv ; Antastpunkt ; Koordinatenmessung |
| Zusammenfassung | Die dimensionelle Messtechnik an Elementen der Mikrosystemtechnik gewinnt zunehmend an Bedeutung. Der vorliegende Beitrag beschreibt erste Antastergebnisse eines neuen 3D-Mikrotasters für Koordinatenmessungen an Mikroteilen auf der Basis einer Silizium-Membranfeder mit piezoresistiven Elementen. Die Positionsauflösung beträgt 5 nm, die Antastkräfte betragen 10 mN in x-,y-Richtung und 200 mN in z-Richtung und die 1D-Wiederholbarkeit gemessener Antastpunkte beträgt 20 nm. Weiterhin werden Ergebnisse zur Linearität des Sensors und zum Übersprechverhalten vorgestellt. |
