| Zugriffsnummer | 11699 |
| Dokumenttyp | Konferenzartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Metrologische Probleme bei der Bestimmung der Härte dünner Schichten |
| Autor(in); Institution |
Herrmann, Konrad; 5.21, Härte und Schichtdicke, PTB-Berlin
Hasche, Klaus; 5, Fertigungsmesstechnik, PTB-Braunschweig
Pohlenz, Frank; 5.21, Härte und Schichtdicke, PTB-Berlin
Seemann, Reiner; 5.21, Härte und Schichtdicke, PTB-Berlin
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| Quelle/Jahr | Vortrags- und Diskussionstagung Werkstoffprüfung 1999:(1999), 185 - 193 |
| Herausgeber(in) |
Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung
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| Verlag | Berlin: DVM |
| Konferenzangaben | Vortrags- und Diskussionstagung Werkstoffprüfung 1999, Bad Nauheim, 02-03, Dezember, 1999, Germany |
| Freie Schlagworte | Nanoindentation method ; hardness ; thin coatings |
| Zusammenfassung | The paper discusses the calibration methods used for the nanoindentation measuring method. The most important calibration refers to the geometry of the inetenders. For this calibration the authors used a modified scanning force microscope which is calibrated with fitted laserinterferometers. Thus traceable measurements are realized for the determination of the indenter geometry. In an improved arrangement of the laserinterferometers in the microscope the Abbe error can be avoided. The geometrical deviations of the indenter in the rip region are summarized in an area function. The area function determined with the scanning force microscope is compared with the area function received with a reference material. |
| Rechteinformation | 1999, DVM |