| Zugriffsnummer | 11655 |
| Dokumenttyp | Zeitschriftenartikel |
| Sprache | Deutsch |
| Titel | Miniaturisierter 3-D Tastsensor für die Metrologie an Mikrostrukturen |
| Autor(in); Institution |
Kleine-Besten, Thomas; 5.11, Maskenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Loheide, Stefan; 5.11, Maskenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Brand, Uwe; 5.11, Maskenmesstechnik, PTB-Braunschweig
Schlachetzki, A.; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
Bütefisch, S.; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
Büttgenbach, S.; TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, GERMANY
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| Quelle/Jahr | Technisches Messen: 12 (1999), 490 - 495 |
| ISSN | 0171-8096 |
| Verlag | München: Oldenbourg |
| Freie Schlagworte | 3D-Tastsensor ; Mikrometrologie ; miniaturisiertes 3D-KMG ; Antastprozess ; Antastkräfte |
| Zusammenfassung | Die gesicherte Metrologie an Mikrostrukturen gewinnt zunehmend an Bedeutung. Für diese Anwendung wurde ein 3-D Tastsensor auf der Basis der Silizium-Technologie entwickelt und untersucht. Im vorliegenden Bericht werden Ergebnisse zur 2-D Wiederholbarkeit, zur Linearitätsabweichung, zur Auflösung und zum Übersprechverhalten des Sensors vorgestellt. Ferner erfolgen Untersuchungen der beim Antastprozess auftretenden Kräfte. Mit dem vorliegenden Sensortyp ist beabsichtigt, eine 3-D Messunsicherheit von < 0,05 μm zu realisieren. |
